低粘度礦物油霧的質(zhì)量中值直徑范圍為5到110微米。可溶性油霧的質(zhì)量中值直徑在40到80微米之間變化，平均幾何標(biāo)準(zhǔn)偏差為2.4，不受任何參數(shù)的影響。

當(dāng)油霧超標(biāo)的時(shí)候，需要采用計(jì)數(shù)濃度法，即通過測(cè)定潔凈環(huán)境內(nèi)單位體積空氣中含大于或等于某粒徑的懸浮粒子數(shù)，來評(píng)定該潔凈室的潔凈度等級(jí)。測(cè)試方法采用ISO14644.1《Cleanrooms and asociated controlled environments-Part 1 Classification of air cleanliness》以及GB/T16292-2010《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）懸浮粒子的測(cè)試方法》。為確認(rèn)*潔凈區(qū)的級(jí)別，每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量不得少于1m³。*潔凈區(qū)空氣懸浮粒子的級(jí)別為ISO4.8，以≥5.0um的懸浮粒子為限度標(biāo)準(zhǔn)。B級(jí)潔凈區(qū)（靜態(tài)）的空氣懸浮粒子的級(jí)別為ISO5，同時(shí)包括表中兩種粒徑的懸浮粒子。對(duì)于C級(jí)潔凈區(qū)（靜態(tài)和動(dòng)態(tài)）而言，空氣懸浮粒子的級(jí)別分別為ISO7和ISO8。對(duì)于D級(jí)潔凈區(qū)（靜態(tài)）空氣懸浮粒子的級(jí)別為ISO8。

 為了檢測(cè)的相互驗(yàn)證，建議壓縮空氣檢測(cè)同時(shí)檢測(cè)油水塵微生物。因?yàn)橛统瑯?biāo)，會(huì)滋生微生物，顆粒物超標(biāo)，定期的檢測(cè)，可及時(shí)維護(hù)過濾器，管道等配件，防止污染產(chǎn)品。